旭サナック株式会社旭サナック株式会社

精密清洗技术

PRECISION CLEANING TECHNOLOGY

雾化技术的发展产生了精密清洗技术

将清洗液体雾化,使其高速高密度连续碰撞产生能量的清洗方式即是精密清洗技术。 非接触式的物理清洁方可以广泛地清洁从几微米到纳米级的各种颗粒。
为更高精密化、高精细化的液晶面板和半导体等电子设备的清洁工艺改革做出了贡献。

HPMJ®超高压微射流清洗系统

超高压微喷射清洗系统是一种物理清洗系统,可对超高压泵中的清洗液进行加压,并将清洗液从喷嘴处向加工件高速喷射微粒液体。

*“ HPMJ®”是 旭灿纳克株式会社在日本,中国,美国,韩国,台湾,马来西亚和新加坡的注册商标。

清洗图

HPMJ®超高压微射流清洗系统
HPMJ®超高压微射流清洗系统

清洗机制(喷射效果)

从喷嘴喷出的雾化清洁液高速碰撞加工件,碰撞时产生的排斥能量可以将粘附在加工件上的细颗粒分离。

喷射效果图

液体与需要清洁物体的碰撞时刻

液体与需要清洁物体的碰撞时刻

压力与喷射速度的关系

压力与喷射速度的关系

洗净力的理论公式

洗净力的理论公式

应用实例

FPD制造过程 CF 初期清洗,显影后清洗
Array 初期清洗,成膜前清洗,
剥离后清洗
Cell PI之前的清洗,研磨后清洗,
切割后清洗
有机EL 初期清洗,成膜前清洗
半导体清洗工艺 切片后清洗,基板初期清洗,激光切割后清洗
太阳能电池制造工程 切片后清洗,基板初期清洗,激光切割后清洗
其他 生产制程中治具的清洗,
食品制造过程中的清洗,
医疗相关制造过程中的清洗

HSPJ®超高压脉冲喷射系统

HSPJ®(High-speed Pulsating Jet)是指,在清洗液中加入空腔效应※,由泵进行加压,从HSPJ的喷嘴将微粒化的清洗液体喷向加工件的物理清洗系统。

※空腔效应:通过液体控制,有效地制造出气泡雾云。

*“ HSPJ®”是 旭灿纳克株式会社在日本,中国,美国,韩国,台湾,马来西亚和新加坡的注册商标。

HSPJ®超高压脉冲喷射系统

HSPJ的工作方式

HSPJ的工作方式

1空腔

周期性的产生气泡云

キャビテータ

2HSPJ喷嘴

喷嘴内部光滑的锥形结构降低了喷出液体的速度损失。

加入空腔效应的HSPJ喷嘴产生了高速且高密度的液滴,可以对加工件进行连续碰撞,从而将微小颗粒剥离。

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