产品信息
精密清洗装置
HPMJ® 超高压清洗系统
MJ系列 非金属型号
MJ 2800 MJ 2800T
MJ 2800
MJ 2800T
特征
面向半导体产线
每个喷嘴都可任意喷射
规格
| 型号 | MJ 2800 | MJ 2800T |
|---|---|---|
| 常规最大使用压力 | 12MPa | 12MPa |
| 适合的清洗液 | 纯水 | 纯水 |
| 外规尺寸 | 380×450×1300mm | 1200×500×1550mm |
| 重量 | 50kg | 200kg |
| 电源 | 100V～240V | 200V |
| 最大使用喷嘴数量 | 1个（ 612喷嘴）10兆帕时 | 3个（ 612喷嘴）10兆帕时 |
| 清洗喷射量 | 1.15L/min ( 10兆帕喷射量) | 3.45L/min ( 10兆帕喷射量) |
| 驱动方式 | 压缩空气 | 压缩空气 |
・详细规格的确认需要验证通过清洗实验和协商 .
・手动调节阀规格也可用于压力控制。
・详细的情况，请联络我们 .
・在使用化学品和解决方案的情况下,必须要验证是否可以使用液体
・根据条件・最大操作压力变化。请联系灿纳克NC事业部联系。
MJ系列可安装HSPJ
MJH系列紧凑型号
MJH 1628 MJH1635
特征
・可对应非金属规格
・可在现有的清洗线直接追加安装
规格
| 型号 | MJH 1628 | MJH 1635 |
|---|---|---|
| 常规最大使用压力 | 13MPa | 9MPa |
| 适合的清洗液 | 超纯水 药液 | 超纯水 药液 |
| 外规尺寸 | 750×400×500mm | 750×400×500mm |
| 重量 | 130kg | 130kg |
| 电源 | 200V （选项100V） | 200V （选项100V） |
| 最大使用喷嘴数量 | 2个（ 1个喷嘴 1.13L/min,使用压力13兆帕时） | 4个（ 1个喷嘴，1.1L/min, 使用压力 9兆帕时） |
| 清洗喷射量 | 2.26L/min（13兆帕喷射量 X 喷嘴2个） | 4.4L/min（9兆帕喷射量 X 喷嘴4个） |
| 驱动方式 | 压缩空气 | 压缩空气 |
・详细规格的确认需要验证通过清洗实验和协商 .
・手动调节阀规格也可用于压力控制。
・详细的情况，请联络我们 .
・在使用化学品和解决方案的情况下,必须要验证是否可以使用液体
・根据条件・最大操作压力变化。请联系灿纳克NC事业部联系。
MJH系列 可安装HSPJ
AF系列 标准型号
AF2800 AF5400S(C) AF6200S AF5400SW(C) AF6200SW
AF2800
AF5400S（C）
AF6200S
AF5400SW（C）
AF6200SW
特征
・FPD：１～４代対应
每个喷嘴都可任意喷射
规格
| 型号 | AF 2800 | AF 5400S(C) | AF 6200S |
|---|---|---|---|
| 常规最大使用压力 | 12MPa | 15MPa | 12MPa |
| 适合的清洗液 | 纯水 | 纯水 各种药剂 溶剂 | 纯水 各种药剂 溶剂 |
| 外规尺寸 | 380×450×1300mm | 600×554×1800mm | 600×554×1800mm |
| 重量 | 50kg | 200kg | 200kg |
| 电源 | 100V～240V | 200V （选项100V） | 200V （选项100V） |
| 清洗喷射量 | 1个（ 612喷嘴）10兆帕时 | 4个（ 612喷嘴）10兆帕时 | 6个（ 612喷嘴）10兆帕时 |
| 洗浄液噴射量 | 1.15L/min ( 10兆帕喷射量) | 4.6L/min ( 10兆帕喷射量) | 6.9l/min（10MPa噴射量） |
| 驱动方式 | 压缩空气 | 压缩空气 | 压缩空气 |
| 型号 | AF 5400SW(C) | AF 6200SW |
|---|---|---|
| 常规最大使用压力 | 15MPa | 12MPa |
| 适合的清洗液 | 纯水 各种药剂 溶剂 | 纯水 各种药剂 溶剂 |
| 外规尺寸 | 1350×560×1850mm | 1350×560×1850mm |
| 重量 | 450kg | 450kg |
| 电源 | 200V （选项100V） | 200V （选项100V） |
| 最大使用喷嘴数量 | 8个（ 612喷嘴）10兆帕时 | 12个（ 612喷嘴）10兆帕时 |
| 清洗喷射量 | 9.2L/min ( 10兆帕喷射量) | 14L/min ( 10兆帕喷射量) |
| 驱动方式 | 压缩空气 | 压缩空气 |
・详细规格的确认需要验证通过清洗实验和协商 .
・手动调节阀规格也可用于压力控制。
・详细的情况，请联络我们 .
・在使用化学品和解决方案的情况下,必须要验证是否可以使用液体
・根据条件・最大操作压力变化。请联系灿纳克NC事业部联系。
AF系列 标准型号
MJE, MJ系列
MJE 1520(C) MJE 2020(C) MJE 1570 MJE 2050 MJE3030 MJT 2020(C) MJT 2035(C) MJT 1570 MJT 2050
标准型
MJE 1520(C) MJE 2020(C)
MJT 2020(C) MJT 2035(C)
大流量型
MJE 1570 MJE 2050 MJT 1570 MJT 2050
高压型
MJE3030
特征
标准型 大流量型
·FPD:支持4~11世代
·可以调节设定与基板尺寸最相匹配的的水压·流量。
·MJE型…日本制造
·MJT型…台湾制造(成本优势)
※以日本的品质标准进行生产。
高压型
最大压力可以达到30兆帕
规格
MJE系列
| 型号 | MJE1520(C) | MJE2020(C) | MJE1570 |
|---|---|---|---|
| 常规最大使用压力 | 15MPa | 15MPa | 15MPa |
| 适合的清洗液 | 纯水 | 纯水 | 纯水 |
| 外规尺寸 | 1600×620×1400mm | 1600×620×1400mm | 1700×900×1550mm |
| 重量 | 500kg | 550kg | 1000kg |
| 电源 | 200V 5.5kW | 200V 7.5kW | 200V～240V 22kW |
| 最大使用喷嘴数量 | 14个（612喷嘴）10兆帕时 | 20个（612喷嘴）10兆帕时 | 60个（612喷嘴）10兆帕时 |
| 清洗喷射量 | 16L/min（10MPa喷射量） （10MPa 喷射量 × 喷嘴14个 时） |
24L/min（10MPa喷射量） （10MPa 喷射量 × 喷嘴20个 时） |
70L/min（10MPa喷射量） （10MPa 喷射量 × 喷嘴60个 时） |
| 驱动方式 | 变频电机 | 变频电机 | 变频电机 |
| 型号 | MJE2050 | MJE3030 |
|---|---|---|
| 常规最大使用压力 | 20MPa | 30MPa |
| 适合的清洗液 | 纯水 | 纯水 |
| 外规尺寸 | 1700×900×1550mm | 1700×900×1550mm |
| 重量 | 1000kg | 1000kg |
| 电源 | 200V～240V 22kW | 200V～240V 22kW |
| 最大使用喷嘴数量 | 34个（612喷嘴）15兆帕时 | 14个（612喷嘴）30兆帕时 |
| 清洗喷射量 | 49L/min（15MPa喷射量） （15MPa 喷射量 × 喷嘴32个 时） |
20L/min（30MPa喷射量） （30MPa 喷射量 × 喷嘴16个 时） |
| 驱动方式 | 变频电机 | 变频电机 |
MJT系列
| 型号 | MJT2020(C) ） | MJT2035(C) | MJT1570 | MJT2050 |
|---|---|---|---|---|
| 常规最大使用压力 | 15MPa | 15MPa | 15MPa | 20MPa |
| 适合的清洗液 | 纯水 | 纯水 | 纯水 | 纯水 |
| 外规尺寸 | 1600×620×1400mm | 1600×620×1400mm | 1700×900×1550mm | 1700×900×1550mm |
| 重量 | 550kg | 600kg | 1000kg | 1000kg |
| 电源 | 200V 7.5kW | 200V 15kW | 200V～240V 22kW | 200V～240V 22kW |
| 最大使用喷嘴数量 | 20个（612喷嘴）10兆帕时 | 30个（612喷嘴）10兆帕时 | 60个（612喷嘴）10兆帕时 | 34个（612喷嘴）15兆帕时 |
| 清洗喷射量 | 24L/min（10MPa喷射量） （10MPa 喷射量 × 喷嘴20个 时） |
35L/min（10MPa喷射量） （10MPa 喷射量 × 喷嘴30个 时） |
70L/min（10MPa喷射量） （10MPa 喷射量 × 喷嘴60个 时） |
49L/min（15MPa喷射量） （15MPa 喷射量 × 喷嘴32个 时） |
| 驱动方式 | 变频电机 | 变频电机 | 变频电机 | 变频电机 |
・详细规格的确认需要验证通过清洗实验和协商 .
・手动调节阀规格也可用于压力控制。
・详细的情况，请联络我们 .
・在使用化学品和解决方案的情况下,必须要验证是否可以使用液体+D166
・根据条件・最大操作压力变化。请联系灿纳克NC事业部联系。