旭サナック株式会社旭サナック株式会社

产品信息

PRODUCTS

精密清洗装置

HPMJ® 超高压清洗系统

MJ系列 非金属型号

MJ 2800 MJ 2800T

MJ 2800

MJ 2800

MJ 2800T

MJ 2800T

FEATURE
特征

面向半导体产线
每个喷嘴都可任意喷射

SPEC
规格

型号 MJ 2800 MJ 2800T
常规最大使用压力 12MPa 12MPa
适合的清洗液 纯水 纯水
外规尺寸 380×450×1300mm 1200×500×1550mm
重量 50kg 200kg
电源 100V~240V 200V
最大使用喷嘴数量 1个( 612喷嘴)10兆帕时 3个( 612喷嘴)10兆帕时
清洗喷射量 1.15L/min ( 10兆帕喷射量) 3.45L/min ( 10兆帕喷射量)
驱动方式 压缩空气 压缩空气

・详细规格的确认需要验证通过清洗实验和协商 .
・手动调节阀规格也可用于压力控制。
详细的情况,请联络我们 .
・在使用化学品和解决方案的情况下,必须要验证是否可以使用液体
・根据条件・最大操作压力变化。请联系灿纳克NC事业部联系。

MJ系列可安装HSPJ

MJH系列紧凑型号

MJH 1628 MJH1635 

MJ 2800

FEATURE
特征

・可对应非金属规格
・可在现有的清洗线直接追加安装

SPEC
规格

型号 MJH 1628 MJH 1635
常规最大使用压力 13MPa 9MPa
适合的清洗液 超纯水 药液 超纯水 药液
外规尺寸 750×400×500mm 750×400×500mm
重量 130kg 130kg
电源 200V (选项100V) 200V (选项100V)
最大使用喷嘴数量 2个( 1个喷嘴 1.13L/min,使用压力13兆帕时) 4个( 1个喷嘴,1.1L/min, 使用压力 9兆帕时)
清洗喷射量 2.26L/min(13兆帕喷射量 X 喷嘴2个) 4.4L/min(9兆帕喷射量 X 喷嘴4个)
驱动方式 压缩空气 压缩空气

・详细规格的确认需要验证通过清洗实验和协商 .
・手动调节阀规格也可用于压力控制。
详细的情况,请联络我们 .
・在使用化学品和解决方案的情况下,必须要验证是否可以使用液体
・根据条件・最大操作压力变化。请联系灿纳克NC事业部联系。

MJH系列 可安装HSPJ

AF系列 标准型号

AF2800 AF5400S(C) AF6200S AF5400SW(C) AF6200SW

MJ 2800

AF2800

MJ 2800

AF5400S(C)
AF6200S

MJ 2800

AF5400SW(C)
AF6200SW

FEATURE
特征

・FPD:1~4代対应
每个喷嘴都可任意喷射

SPEC
规格

型号 AF 2800 AF 5400S(C) AF 6200S
常规最大使用压力 12MPa 15MPa 12MPa
适合的清洗液 纯水 纯水 各种药剂 溶剂 纯水 各种药剂 溶剂
外规尺寸 380×450×1300mm 600×554×1800mm 600×554×1800mm
重量 50kg 200kg 200kg
电源 100V~240V 200V (选项100V) 200V (选项100V)
清洗喷射量 1个( 612喷嘴)10兆帕时 4个( 612喷嘴)10兆帕时 6个( 612喷嘴)10兆帕时
洗浄液噴射量 1.15L/min ( 10兆帕喷射量) 4.6L/min ( 10兆帕喷射量) 6.9l/min(10MPa噴射量)
驱动方式 压缩空气 压缩空气 压缩空气
型号 AF 5400SW(C) AF 6200SW
常规最大使用压力 15MPa 12MPa
适合的清洗液 纯水 各种药剂 溶剂 纯水 各种药剂 溶剂
外规尺寸 1350×560×1850mm 1350×560×1850mm
重量 450kg 450kg
电源 200V (选项100V) 200V (选项100V)
最大使用喷嘴数量 8个( 612喷嘴)10兆帕时 12个( 612喷嘴)10兆帕时
清洗喷射量 9.2L/min ( 10兆帕喷射量) 14L/min ( 10兆帕喷射量)
驱动方式 压缩空气 压缩空气

・详细规格的确认需要验证通过清洗实验和协商 .
・手动调节阀规格也可用于压力控制。
详细的情况,请联络我们 .
・在使用化学品和解决方案的情况下,必须要验证是否可以使用液体
・根据条件・最大操作压力变化。请联系灿纳克NC事业部联系。

AF系列 标准型号

MJE, MJ系列

MJE 1520(C) MJE 2020(C) MJE 1570 MJE 2050 MJE3030 MJT 2020(C) MJT 2035(C) MJT 1570 MJT 2050

MJ 2800

标准型

MJE 1520(C)  MJE 2020(C)
MJT 2020(C)  MJT 2035(C)

MJ 2800

大流量型

MJE 1570 MJE 2050 MJT 1570 MJT 2050

MJ 2800

高压型

MJE3030

FEATURE
特征

标准型 大流量型

·FPD:支持4~11世代
·可以调节设定与基板尺寸最相匹配的的水压·流量。
·MJE型…日本制造
·MJT型…台湾制造(成本优势)

※以日本的品质标准进行生产。


高压型

最大压力可以达到30兆帕

SPEC
规格

MJE系列

型号 MJE1520(C) MJE2020(C) MJE1570
常规最大使用压力 15MPa 15MPa 15MPa
适合的清洗液 纯水 纯水 纯水
外规尺寸 1600×620×1400mm 1600×620×1400mm 1700×900×1550mm
重量 500kg 550kg 1000kg
电源 200V 5.5kW 200V 7.5kW 200V~240V 22kW
最大使用喷嘴数量 14个(612喷嘴)10兆帕时 20个(612喷嘴)10兆帕时 60个(612喷嘴)10兆帕时
清洗喷射量 16L/min(10MPa喷射量)
(10MPa 喷射量 × 喷嘴14个 时)
24L/min(10MPa喷射量)
(10MPa 喷射量 × 喷嘴20个 时)
70L/min(10MPa喷射量)
(10MPa 喷射量 × 喷嘴60个 时)
驱动方式 变频电机 变频电机 变频电机
型号 MJE2050 MJE3030
常规最大使用压力 20MPa 30MPa
适合的清洗液 纯水 纯水
外规尺寸 1700×900×1550mm 1700×900×1550mm
重量 1000kg 1000kg
电源 200V~240V 22kW 200V~240V 22kW
最大使用喷嘴数量 34个(612喷嘴)15兆帕时 14个(612喷嘴)30兆帕时
清洗喷射量 49L/min(15MPa喷射量)
(15MPa 喷射量 × 喷嘴32个 时)
20L/min(30MPa喷射量)
(30MPa 喷射量 × 喷嘴16个 时)
驱动方式 变频电机 变频电机

MJT系列

型号 MJT2020(C) ) MJT2035(C) MJT1570 MJT2050
常规最大使用压力 15MPa 15MPa 15MPa 20MPa
适合的清洗液 纯水 纯水 纯水 纯水
外规尺寸 1600×620×1400mm 1600×620×1400mm 1700×900×1550mm 1700×900×1550mm
重量 550kg 600kg 1000kg 1000kg
电源 200V 7.5kW 200V 15kW 200V~240V 22kW 200V~240V 22kW
最大使用喷嘴数量 20个(612喷嘴)10兆帕时 30个(612喷嘴)10兆帕时 60个(612喷嘴)10兆帕时 34个(612喷嘴)15兆帕时
清洗喷射量 24L/min(10MPa喷射量)
(10MPa 喷射量 × 喷嘴20个 时)
35L/min(10MPa喷射量)
(10MPa 喷射量 × 喷嘴30个 时)
70L/min(10MPa喷射量)
(10MPa 喷射量 × 喷嘴60个 时)
49L/min(15MPa喷射量)
(15MPa 喷射量 × 喷嘴32个 时)
驱动方式 变频电机 变频电机 变频电机 变频电机

・详细规格的确认需要验证通过清洗实验和协商 .
・手动调节阀规格也可用于压力控制。
详细的情况,请联络我们 .
・在使用化学品和解决方案的情况下,必须要验证是否可以使用液体+D166
・根据条件・最大操作压力变化。请联系灿纳克NC事业部联系。

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