旭サナック株式会社旭サナック株式会社

製品情報

PRODUCTS

精密洗浄装置

HPMJ® 超高圧マイクロジェット洗浄装置
HIGH PRESSURE MICRO JET CLEANING SYSTEM

MJシリーズ 非金属タイプ

MJ 2800 MJ 2800T

MJ 2800

MJ 2800

MJ 2800T

MJ 2800T

FEATURE
特長

・半導体製造ライン向けです。
・ノズルごとのランダム噴射ができます。

SPEC
仕様

形式 MJ 2800 MJ 2800T
常用最高吐出圧 12MPa 12MPa
適応洗浄液 純水 純水
ユニット寸法(W×L×H) 380×450×1300mm 1200×500×1550mm
ユニット重量 50kg 200kg
電源 100V~240V 200V
最大使用ノズル数 1個(612ノズル)10MPa時 3個(612ノズル)10MPa時
洗浄液噴射量 1.15l/min(10MPa噴射量) 3.45l/min(10MPa噴射量)
駆動方式 コンプレッサー圧縮エアー コンプレッサー圧縮エアー

・詳細仕様を決定するには、洗浄実験での確認および打ち合わせが必要です。
・圧力制御は手動式レギュレータ仕様もございます。
・詳しくは、お問い合わせください。
※薬液、溶液使用の場合は、使用可否の時前確認検証が必要です。
※最大使用圧については条件により変動しますので、旭サナックNC事業部までお問い合わせください。

MJシリーズのHSPJ化も可能です

MJHシリーズ コンパクトサイズ

MJH 1628 MJH1635 

MJ 2800

FEATURE
特長

・非金属仕様もあります。
・既存の洗浄ライン装置へ組み込むことができます。

SPEC
仕様

型式 MJH 1628 MJH 1635
常用最高吐出圧 13MPa 9MPa
適応洗浄液 超純水、薬液 超純水、薬液
ユニット寸法(W×L×H) 750×400×500mm 750×400×500mm
ユニット重量 130kg 130kg
電源 200V(オプション100V) 200V(オプション100V)
最大使用ノズル数 2個(ノズル1個13MPa、1.31l/min時) 4個(ノズル1個9MPa、1.1l/min時)
洗浄液噴射量 2.62l/min(13MPa噴射×ノズル2個時) 4.4l/min(9MPa噴射×ノズル4個時)
駆動方式 コンプレッサー圧縮エアー コンプレッサー圧縮エアー

・詳細仕様を決定するには、洗浄実験での確認および打ち合わせが必要です。
・圧力制御は手動式レギュレータ仕様もございます。
・詳しくは、お問い合わせください。
※薬液、溶液使用の場合は、使用可否の時前確認検証が必要です。
※最大使用圧については条件により変動しますので、旭サナックNC事業部までお問い合わせください。

MJHシリーズのHSPJ化も可能です

AFシリーズ スタンダードタイプ

AF2800 AF5400S(C) AF6200S AF5400SW(C) AF6200SW

MJ 2800

AF2800

MJ 2800

AF5400S(C)
AF6200S

MJ 2800

AF5400SW(C)
AF6200SW

FEATURE
特長

・FPD:1~4世代対応
・ノズルごとのランダム噴射ができます。

SPEC
仕様

型式 AF 2800 AF 5400S(C) AF 6200S
常用最高吐出圧 12MPa 15MPa 12MPa
適応洗浄液 純水 純水 ※各種薬剤、溶剤 純水 ※各種薬剤、溶剤
ユニット寸法(W×L×H) 380×450×1300mm 600×554×1800mm 600×554×1800mm
ユニット重量 50kg 200kg 200kg
電源 100V~240V 200V(オプション100V) 200V(オプション100V)
最大使用ノズル数 1個(612ノズル)10MPa時 4個(612ノズル)10MPa時 6個(612ノズル)10MPa時
洗浄液噴射量 1.15l/min(10MPa噴射量) 4.6l/min(10MPa噴射量) 6.9l/min(10MPa噴射量)
駆動方式 コンプレッサー圧縮エアー コンプレッサー圧縮エアー コンプレッサー圧縮エアー
型式 AF 5400SW(C) AF 6200SW
常用最高吐出圧 15MPa 12MPa
適応洗浄液 純水 ※各種薬剤、溶剤 純水 ※各種薬剤、溶剤
ユニット寸法(W×L×H) 1350×560×1850mm 1350×560×1850mm
ユニット重量 450kg 450kg
電源 200V(オプション100V) 200V(オプション100V)
最大使用ノズル数 8個(612ノズル)10MPa時 12個(612ノズル)10MPa時
洗浄液噴射量 9.2l/min(10MPa噴射量) 14l/min(10MPa噴射量)
駆動方式 コンプレッサー圧縮エアー コンプレッサー圧縮エアー

・詳細仕様を決定するには、洗浄実験での確認および打ち合わせが必要です。
・圧力制御は手動式レギュレータ仕様もございます。
・詳しくは、お問い合わせください。
※薬液、溶液使用の場合は、使用可否の時前確認検証が必要です。
※最大使用圧については条件により変動しますので、旭サナックNC事業部までお問い合わせください。

AFシリーズのHSPJ化も可能です

MJE・MJTシリーズ

MJE 1520(C) MJE 2020(C) MJE 1570 MJE 2050 MJE3030
MJT 2020(C) MJT 2035(C) MJT 1570 MJT 2050

MJ 2800

スタンダードタイプ

MJE 1520(C) MJE 2020(C)
MJT 2020(C) MJT 2035(C)

MJ 2800

大流量タイプ

MJE 1570 MJE 2050
MJT 1570 MJT 2050

MJ 2800

高インパクトタイプ

MJE3030

FEATURE
特長

スタンダードタイプ・大流量タイプ

・FPD:4~11世代対応
・基板サイズに合わせた最適な水圧力・流量を選定できます。
・MJEタイプ…日本製
・MJTタイプ…台湾製(コストメリットもプラスされました。)

※日本の品質基準で生産を行っています。


高インパクトタイプ

・最大30MPaまで超高圧で洗浄できます。

SPEC
仕様

MJEシリーズ

型式 MJE1520(C) MJE2020(C) MJE1570
常用最高吐出圧 15MPa 15MPa 15MPa
適応洗浄液 純水 純水 純水
ユニット寸法(W×L×H) 1600×620×1400mm 1600×620×1400mm 1700×900×1550mm
ユニット重量 500kg 550kg 1000kg
電源 200V 5.5kW 200V 7.5kW 200V~240V 22kW
最大使用ノズル数 14個(612ノズル)10MPa時 20個(612ノズル)10MPa時 60個(612ノズル)10MPa時
洗浄液噴射量 16l/min(10MPa噴射量)
(10MPa噴射量×ノズル14個時)
24l/min(10MPa噴射量)
(10MPa噴射量×ノズル20個時)
70l/min(10MPa噴射量)
(10MPa噴射量×ノズル60個時)
駆動方式 インバーターモーター インバーターモーター インバーターモーター
型式 MJE2050 MJE3030
常用最高吐出圧 20MPa 30MPa
適応洗浄液 純水 純水
ユニット寸法(W×L×H) 1700×900×1550mm 1700×900×1550mm
ユニット重量 1000kg 1000kg
電源 200V~240V 22kW 200V~240V 22kW
最大使用ノズル数 34個(612ノズル)15MPa時 14個(SPノズル)30MPa時
洗浄液噴射量 49l/min(15MPa噴射量)
(15MPa噴射量×ノズル32個時)
20l/min(30MPa噴射量)
(30MPa噴射量×ノズル16個時)
駆動方式 インバーターモーター インバーターモーター

MJTシリーズ

型式 MJT2020(C) MJT2035(C) MJT1570 MJT2050
常用最高吐出圧 15MPa 15MPa 15MPa 20MPa
適応洗浄液 純水 純水 純水 純水
ユニット寸法(W×L×H) 1600×620×1400mm 1600×620×1400mm 1700×900×1550mm 1700×900×1550mm
ユニット重量 550kg 600kg 1000kg 1000kg
電源 200V 7.5kW 200V 15kW 200V~240V 22kW 200V~240V 22kW
最大使用ノズル数 20個(612ノズル)10MPa時 30個(612ノズル)10MPa時 60個(612ノズル)10MPa時 34個(612ノズル)15MPa時
洗浄液噴射量 24l/min(10MPa噴射量)
(10MPa噴射量×ノズル20個時)
35l/min(10MPa噴射量)
(10MPa噴射量×ノズル30個時)
70l/min(10MPa噴射量)
(10MPa噴射量×ノズル60個時)
49l/min(15MPa噴射量)
(15MPa噴射量×ノズル32個時)
駆動方式 インバーターモーター インバーターモーター インバーターモーター インバーターモーター

・詳細仕様を決定するには、洗浄実験での確認および打ち合わせが必要です。
・圧力制御は手動式レギュレータ仕様もございます。
・詳しくは、お問い合わせください。
※薬液、溶液使用の場合は、使用可否の時前確認検証が必要です。
※最大使用圧については条件により変動しますので、旭サナックNC事業部までお問い合わせください。

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