精密洗浄技術

半世紀にわたる微粒化技術の開発をベースに洗浄液を微粒化・高速化しその衝突エネルギーを利用して微細なパーティクルの除去を行い精密洗浄を行います。

精密コーティング技術

成膜を最適化する霧化技術の蓄積と材料を安定供給する技術、それらを組み合わせコーティングする技術の融合でナノレベルの超薄膜から数ミクロンまでの最適な成膜を実現させます。

NC技術センター

精密洗浄、精密コーティングの研究・実験センターとして、実験クリーンルームなどを備えた「NC技術センター」を設置。お客様のライン環境に合わせ、さまざまな設定条件での実験、プロセス技術開発が可能です。

クリーン工場

クラス1000のクリーンルームを設置しお客様の生産ライン環境に合わせた、高精度・高清浄度に対応する生産環境を実現しています。